因此在制作過程中除了要排除外界的污染源外,集成電路制造步驟如高溫擴散、離子植入前等均需要進行濕法清洗或干法清洗工作。干、濕法清洗工作是在不破壞晶圓表面特性及電特性的前提下,有效地使用化學溶液或氣體去除殘留在晶圓上之微塵、金屬離子及有機物之雜質。污染物雜質的分類:IC制程中需要一些有機物和無機物參與完成,另外,制作過程總是在人的參與下在凈化室中進行,這樣就不可避免的產生各種環境對硅片污染的情況發生。根據污染物發生的情況,大致可將污染物分為顆粒、有機物、金屬污染物及氧化物。IC封裝藥水可采用浸泡法和擦拭法進行除膠。江蘇IC封裝藥水供應企業
翻新處理過程中,清洗是比較重要的環節,由于電路板與IC芯片等元器件回收來源復雜,表面污染物差異很大,除了常見的三防漆、松香殘留、油脂、導電膠、導熱膏、灰塵、設備長期運行產生的積碳等,還會混有其他生活和工業垃圾所帶來的各種污染物。目前常用的主流環保清洗方法有以碳氫清洗劑為主的溶劑類清洗及高效水基清洗,碳氫清洗方法運行成本較高;水基清洗對某些污染物的去除能力有限,同時需要配置烘干環節。如正確選用合適的IC清潔劑,一般情況下可做到成本與清潔效果的兼顧。蘇州IC鍍錫藥劑庫存充足IC封裝藥水的使用注意事項是什么呢?
STM-C190變色防止劑,STM-C190可直接取代磷酸三鈉中和處理制程。配比濃度(5%-10%),消耗很低。在錫表面沉積一層有機薄膜,可改善鍍層因儲存或熱處理(烘烤、Reflow)造成的外觀變色狀況。STM-C160除銹活化劑,單劑操作,配比濃度20-40%。適用于各種Cu-alloy、Fe-Ni-alloy不含H2O2,藥液維護容易。微蝕均一性好,藥劑穩定性良好。STM-C150除銹活化劑單劑操作,配比濃度20-40%。適用于各種Cu-alloy、Fe-Ni-alloy、Ni。不含H202,藥液維護容易。微蝕均一性好,藥劑穩定性良好。
有機物的去除常常在清洗工序的第1步進行,金屬污染物:IC電路制造過程中采用金屬互連材料將各個單獨的器件連接起來,首先采用光刻、蝕刻的方法在絕緣層上制作接觸窗口,再利用蒸發、濺射或化學汽相沉積(CVD)形成金屬互連膜,如A-Si,Cu等,通過蝕刻產生互連線,然后對沉積介質層進行化學機械拋光(CMP)。這個過程對IC制程也是一個潛在的污染過程,在形成金屬互連的同時,也產生各種金屬污染。必須采取相應的措施去除金屬污染物。原生氧化物及化學氧化物:硅原子非常容易在含氧氣及水的環境下氧化形成氧化層,稱為原生氧化層。IC封裝藥水防止金屬與腐蝕介質接觸。
隨著科技的不斷發展,IC封裝藥水也在不斷進步。為了滿足更精細的工藝、更高的性能以及更嚴格的環保要求,新型封裝藥水不斷涌現。隨著環保意識的提高,無鉛封裝藥水已成為主流。無鉛錫膏的錫鉛合金中不含鉛,因此更環保。同時,無鉛封裝藥水也面臨更高的挑戰,如提高焊點的可靠性和耐溫性。隨著IC芯片性能的提高,需要更高的工作溫度。因此,高溫封裝藥水的發展至關重要。這種封裝藥水必須在更高的溫度下保持穩定,同時還要具有優良的電氣性能和機械性能。IC封裝藥水適用于各種Cu-alloy、Fe-Ni-alloy、Ni。蘇州IC封裝表面處理液廠家地址
IC封裝藥水使用簡單,常溫浸泡,封閉前無需干燥產品。江蘇IC封裝藥水供應企業
IC清潔劑對金屬不腐蝕,可蒸餾回收,反復使用,比較經濟;毒性較低,對環境污染少;清洗與漂洗可用同一種介質,使用方便。烴類清洗工藝的缺點,主要的是安全性問題,要有嚴格的安全方法措施。醇類清洗工藝特點:醇類中乙醇和異丙醇是工業中常用得有機極性溶劑,甲醇毒性較大,一般做添加劑。醇類清洗工藝特點是:對離子類污染物有很好的溶解能力,清洗松香焊劑效果非常好,對油脂類溶解能力較弱;與金屬材料和塑料等相容性好,不產生腐蝕和容脹;干燥快,容易晾干或送風干燥,可不必使用熱風;脫水性好,常用做脫水劑。江蘇IC封裝藥水供應企業